Зведений каталог бібліотек Харкова
Гучетль, Р. И. Особенности образования дефектов в кремнии при окислении. [Текст] / ОАО "Корпорация КЕПП". // . — С. 19-24.
- Анотація:
Изученны особенности поведения наблюдаемых в результате окисления микродефектов в образцах кремния, выращенных в режиме, приводящим к образованию кольцевой вакансионно-межузельной границы.
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Материалы электронной техники. [Текст] // Известия вузов. Материалы электронной техники ; Министерство образования РФ - М. : МИС и С. — 2006.
- Теми документа
