Зведений каталог бібліотек Харкова
Зюбин, В. Е. Комплексная автоматизация выращивания монокристаллов кремния. [Текст] / Институт автоматики и электрометрии СО РАН. // . — С. 24-27.
- Анотація:
Обобщены результаты работы ряда подразделений Института автоматики и электрометрии СО РАН по созданию малых серий автоматизированных установок для получения высококачественного монокристаллического кремния диаметром до 250мм.
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Материалы электронной техники. [Текст] // Известия вузов. Материалы электронной техники ; Министерство образования РФ - М. : МИС и С. — 2006.
- Теми документа
