|
Автор: Сафаралиев Г.К., Кузнецов Г.Д., Билалов Б.А., Курбанов М.А., Симакин С.Б.
-
Анотація:
Представлены теоретичесие и экспериментальные результаты по получению пленок твердых растворов магнетронным распылением поликритических мишеней различного состава.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Електронні напівпровідники
-
УДК // Нанесення металевого та неметалевого покриття. Нанесення провідникового, напівпровідникового, діелектричного, магнітного покриття та плівок, а також плівок і покриття з електричним опром. Металізація
|
