Зведений каталог бібліотек Харкова
Зайцев, Н. А. Исследование кинетики начального этапа высокотемпературного окисления кремния в сухом кислороде. [Текст] / ОАО "НИИМЭ и завод Микрон".г.Москва. // . — С. 9-17.
- Анотація:
Рассмотрен начальный этап кинетики высокотемпературного окисления кремния в атмосфере сухого кислорода. Расширена полимерная модель окисления путем термодинамического анализ трехкомпонентной системы кремний-вакансии-кислород.
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Электроника. [Текст] // Известия вузов. Электроника ; Министерство образования РФ, Московский государственный институт электронной техники - М. : МИЭТ. — 2006.
- Теми документа
