Зведений каталог бібліотек Харкова
Манжа, Н. М. Влияние температуры осаждения на структуру слоев поликристаллического кремния. [Текст] / НПК "Технологический центр" МИЭТ // Известия вузов. Электроника. — 2006. — С. 14-17.
- Анотація:
Исследована структура поликристаллических слоев кремния, сформированных осаждением при пониженном давлении и разных температурах, с помощью спектров комбинационного рассеяния света.
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Электроника. [Текст] // Известия вузов. Электроника ; Министерство образования РФ, Московский государственный институт электронной техники - М. : МИЭТ. — 2006.
- Теми документа
