Зведений каталог бібліотек Харкова
Гущин, О. П. Травление кремния методом переменной модуляции газов SF(6) и С(4)F(8) [Текст] / НИИ молекулярной электроники и завод "Микрон". // . — С. 8-12.
- Анотація:
Рассмотрен процесс глубокого травления кремния с переменной модуляцией газа, известный как Bosch-процесс. отмечены его преимущества и недостатки. Показаны конструктивные особенности оборудования для реализации этого процесса.
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Электроника. [Текст] // Известия вузов. Электроника ; Министерство образования РФ, Московский государственный институт электронной техники - М. : МИЭТ. — 2006.
- Теми документа
