Зведений каталог бібліотек Харкова
Ковалев, А. А. Особенности технологического процесса очистки полупроводниковых структур на основе электрохимического синтеза и рекуперации растворов. [Текст] / НПК "Технологический центр" МИЭТ // . — С. 13-17.
- Анотація:
Рассмотрена проблема высокой экологической опасности и энергоемкости производства электронной компонентной базы. предложено оригинальное и апробированное в действующих производственных условиях решение.
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Электроника. [Текст] // Известия вузов. Электроника ; Министерство образования РФ, Московский государственный институт электронной техники - М. : МИЭТ. — 2006.
- Теми документа