Анализируется влияние глубоких центров на статистическую задержку пробоя микроплазмы в фосфидгаллиевых р-n-переходе. Проведен численный расчет вероятности включения микроплазмы в фосфидгаллиевых р-n-переходах в случае эмиссии носителей заряда через простой двухзарядный генерационно-рекомбинационный центр и с многозарядной ловушки.