621.38
П84	Прохоров, Г. В.     Радіаційне дефектоутворення і механічні напруження в кремнієвих структурах мікроелектроніки [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 01.04.01 - фізика приладів, елементів і систем / НАНУ та М-во освіти і науки України, Ін-т термоелектрики. — Чернівці, 2006. — 20 с.