| | Лунев, И. В. Особенности формирования тонких пленок оксида алюминия высокочастотным магнетронным методом [Текст] / И.В. Лунев, В.Г. Падалка // Авиационно-космическая техника и технология : труды Харьк. авиац. ин-та им. Н. Е. Жуковского за 1995 г. / М-во образования Украины, Харьк. авиац. ин-т. — Х. : ХАИ, 1996. — С. 260-269. |
| | |
|