Рассмотрены базовые подходы к автоматизации обнаружения и классификации дефектов, возникающих при производстве микросхем. Описана система для решения проблемы улучшения управления производством микросхем. Обсуждены применяемые алгоритмы обработки изображений, распознавания образов, а также генерации вербальных описаний для автоматически полученных классов дефектов.

Проблемы управления [Текст] : Научно-технический журнал / Ин-т проблем управления им. В.А. Трапезникова; РАН // Проблемы управления - М. : ООО "СенСиДат". — М. : ООО "СенСиДат", 2006.

• УДК // Виробництво інтегральних мікросхем та мікроелектронних приладів
• УДК // Системи автоматичного контролю