Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Бешенков, В. Г.
    Диагностика фазового состава скрытых слоев дисилицида кобальта в кремнии по Оже-спектрам Si LVV при ионном профилировании. [Текст] / Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН. // . — С. 55-58.


Автор: Бешенков В.Г., Пархоменко Ю.Н., Подгорный Д.А., Выговская Е.А., Торопова О.В.

- Анотація:

Представлены результаты исследования, являющегося продолжением проведенной ранее работы, в которой для работы известного фазового состава - скрытых слоев дисциплина кобальта в кремнии - была показана несостоятельность простой линейной модели генерации данных как смеси Оже-спектров дисциплина кобальта и кремния.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Дослідження структури матеріалів. Металографія. Дослідження металоїдів (неметалів)
  • УДК // Електронні ( катодні ) промені та пов'язана геометрична оптика



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт