|
Автор: Гукетлов Х.М., Демченко А.В., Кумыков В.К., Манукянц А.Р., Фетисова В.М.
-
Анотація:
Экспериментально исследовано влияние фотонного отжига некогерентным излучением на поверхностное сопротивление и структуру алюминиевых и хромоникелевых пленок на кремнии.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи
-
УДК // Неорганічна хімія
| 