|
Автор: Апрелов С.А., Герасименко Н.Н., Рыбачек Е.Н., Сенков В.М., Пиршин И.В., Турьянский А.Г., Цехош В.И.
-
Анотація:
Показано, что двухволновая рентгеновская рефлектометрия применима для контроля технологических параметров тонких пленок на различных технологических этапах.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Аналіз кристалів із застосуванням рентгенівських променів ( рентгенографічний аналіз )
-
УДК // Конструювання електричного кола
-
УДК // Нанесення покриття шляхом розпилення. Розпилення в полум'ї. Електродугова металізація. Плазмова металізація.
| 