621.7 | И88 | Колесник, В. П. Исследование характеристик ионной магнетронной распылительной системы с радиальными потоками плазмы [Текст] : лаб. практикум / М-во образования и науки Украины, Нац. аэрокосм. ун-т им. Н. Е. Жуковского "Харьк. авиац. ин-т". — Х. : Нац. аэрокосм. ун-т им. Н. Е. Жуковского "Харьк. авиац. ин-т", 2006. — 40 с. |
| | |
|