|
Автор: Тимошенков С.П., Зотов С.А., Калугин В.В., Воротников А.А., Рубчиц В.Г., Прокопьев Е.П.
-
Анотація:
Приведен анализ механизмов меграции пор и полостей на границе раздела в структурах кремний-на-изоляторе. Показано, что поры с радиусом до 30 мкм на границе раздела залечиваются в процессе термообработки структур, что способствует получению качественных приборов и микроэлектромеханических систем.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Граничні шари. Поверхневе тертя ( приповерхневе тертя )
-
УДК // Ядерна техніка. Електротехніка. Машинобудування в цілому
| 