|
Автор: Чаплыгин Ю.А., Усанов Д.А., Скрипаль А.В., Абрамов А.В., Боголюбов А.С.
-
Анотація:
Предложена и экспериментально реализована методика измерения электропроводности и толщины металлических пленок в слоистых структурах в диапазоне толщин от единиц до тысяч нанометров по спектрам отражения электромагнитного излучения.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Електроніка. Мікроелектроніка
-
УДК // Провідники та напівпровідники залежно від матеріалу виготовлення
| 