|
Автор: Мельник В., Місюк А., Попов В., Оберемок О., Романюк Б., Гамов Д., Форманек П.
-
Анотація:
Методами вторинної іонної мас-спектрометрії та просвічуючої електронної мікроскопії досліджено вплив гідростатичного тиску азоту при високотемпературних відпалах на синтез прихованих шарів Si3N4 в кремнії після іонної імплантації азоту.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Інші явища та властивості
-
УДК // Фізична природа матерії
| 