Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Самойлович, М. И.
    Наноструктурированные пленки A1N: получение, строение и применение в электронной технике [Текст] / Центральный научно-исследовательский технологический институт "Техномаш" // Инженерная физика. — 2006. — С. 51-56.


- Анотація:

Формирование пленок, получаемых в неравновесных условиях методами ионно-плазменного распыления, происходит в условиях морфологической неустойчивости. Преимущественное направление фомирования кристаллической фазы пленок определяется структурными особенностями материала пленки и направлением потока пленкообразующих пластеров.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Нанотехнологія



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт