Зведений каталог бібліотек Харкова

 
Пошук Відібрані Опис документа
Початкова сторінка Сайт УФД

Тимошенков, С. П.
    Влияние технологических процессов на геометрические параметры изготавливаемых элементов МЭМС [Текст] / С.П. Тимошенков, В.Г. Рубчиц, С.А. Зотов та ін. // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика : Научно-технический и производственный журнал. — М. : Научтехлитиздат, 2007. — С. 60-63.

Автор: Тимошенков С.П., Рубчиц В.Г., Зотов С.А., Калугин В.В., Прокопьев Е.П.

- Анотація:

Рассмотрен способ изготовления трехмерных сруктур микроэлектромеханических систем (МЭМС) в объеме кремниевой подложки с использованием жидкостного анизотропного травления кремния. Дана оценка критериев допустимых технологических погрешностей изготовления трехмерных структур для соответствующей модернизации существующих типовых ТП.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Мікроелектроніка. Інтегральні схеми



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт