Приведены результаты экспериментального иследования источника рентгеновского излучения, применяемого для предыонизации лазерной смеси в широкоаапертурных электроразрядных эксимерных лазерах. Создан экспериментальный образец источника, в котором импульс рентгеновского излучения формировался в вакуумном диоде обращенного типа при торможении ускоренных электронов в танталовой фольге.