Зведений каталог бібліотек Харкова
Белов, А. Н. Локальное травление кремния с использованием тенрдой маски на основе пористого оксида алюминия [Текст] / Московский государственный институт электронной техники // Известия вузов. Электроника. — 2007. — С. 11-14.
- Анотація:
Рассмотрены технологические особенности нанопрофилирования кремния, защищенного твердой маской на основе пористого оксида алюминия
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Электроника. [Текст] // Известия вузов. Электроника ; Министерство образования РФ, Московский государственный институт электронной техники - М. : МИЭТ. — 2007.
- Теми документа
