Зведений каталог бібліотек Харкова
Галушков, А. И. Исследование сложнопрофильных микрообъектов методами атомной силовой микроскопии [Текст] / Московский государственный институт электронной техники // Известия вузов. Электроника. — 2007. — С. 83-84.
Автор: Галушков А.И., Годовицин И.В., Сауров А.Н., Краснобородько С.Ю., Шевяков В.И.
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Электроника. [Текст] // Известия вузов. Электроника ; Министерство образования РФ, Московский государственный институт электронной техники - М. : МИЭТ. — 2007.
- Теми документа