Чебурахин, И. Ф.     Высокие технологии при проектирование интегральных схем [Текст] / МАТИ -РГТУ им. К.Э. Циолковского // Технология машиностроения : Обзорно-аналитический, научно-технический и производственный журнал. — М. : Технология машиностроения, 2007. — С. 59-63.