Зведений каталог бібліотек Харкова
Горлов, М. И. Микроэлектронный датчик влажности [Текст] / М.И. Горлов, Д.Л. Ануфриев, Н.А. Шишкина // Датчики и системы : научно-технический и производственный журнал / Инт- проблем управления РАН, МГ ИЭМ, Ассоциация "МВТК". — М., 2007. — С. 23-26.
- Анотація:
Предложены конструкция микроэлектронного датчика влажности поверхностного-конденсационного типа и методика измерения содержания паров воды внутри интегральных схем
- Є складовою частиною документа:
Датчики и системы [Текст] : научно-технический и производственный журнал / Инт- проблем управления РАН, МГ ИЭМ, Ассоциация "МВТК" // Датчики и системы - М. — М., 2007.
- Теми документа
