Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Fedorchenko, V. D.
    Deposition of refractory metal films with planar plasma ECR source [Текст] = Нанесение покрытий тугоплавких металлов с использованием планарного ЭЦР плазменного источника / V.D. Fedorchenko, V.V. Chebotarev, A.V. Medvedev // Вопросы атомной науки и техники / НАНУ; Нац. научный центр "ХФТИ". — Х., 2007. — С. 164-166.


- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Фізика плазми



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт