| | Fedorchenko, V. D. Deposition of refractory metal films with planar plasma ECR source [Текст] = Нанесение покрытий тугоплавких металлов с использованием планарного ЭЦР плазменного источника / V.D. Fedorchenko, V.V. Chebotarev, A.V. Medvedev // Вопросы атомной науки и техники / НАНУ; Нац. научный центр "ХФТИ". — Х., 2007. — С. 164-166. |
| | |
|