| | Fedorovich, O. A. Modernized equipment for plasmachemical etching of insulation of P-N transition of photoelectric converters [Текст] = Модернизированное оборудование для плазмохимического травления изоляции P-N перехода фотоэлектрических преобразователей / O.A. Fedorovich, M.P. Kruglenko, D.V. Lukomskyy, A.A. Marinenko // Вопросы атомной науки и техники / НАНУ; Нац. научный центр "ХФТИ". — Х., 2007. — С. 203-205. |
| | |
|