|
Автор: Поляков П.Ф., Невлюдов И.Ш., Палагин В.А., Хорунжий В.А., Поляков В.П., Королева Я.Ю.
-
Анотація:
Рассмотрены основные технологические методы изготовления микроэлектромеханических систем и особенности использования КМОП-технологии при изготовлении изделий микросистемной техники. МСТ наряду с нанотехнологиями является революционным направлением развития техники 21 века.
-
Електронні версії документа:
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
Праці співробітників ХАІ // Праці співробітників ХАІ/Труды сотрудников ХАИ
-
УДК // Радіотехніка. Техніка електромагнітних коливань
| 