Зведений каталог бібліотек Харкова
кунченко, Ю. В. Слоистые Ti-Cr-N-покрытия, получаемые методом вакуумно-дугового осаждения [Текст] / Ю.В. кунченко, В.В. Кунченко, И.М. неклюдов, Г.Н.Андреев Картмазов // Вопросы атомной науки и техники / НАНУ; Нац. научный центр "ХФТИ". — Х., 2007. — С. 203-214.
- Анотація:
Показана возможность формирования нанослойных TiNx/CrNx-покрытий методом вакуумно-дугового осаждения на плоскость конденсации, которая, вращаясьвокруг оси камеры установки типа "Булат", последовательно пересекает осаждаемые плазменные потоки, генерируемые тремя испарителями.
- Є складовою частиною документа:
Вопросы атомной науки и техники [Текст] / НАНУ; Нац. научный центр "ХФТИ" // Вопросы атомной науки и техники. Серия: Физика плазмы - Х. — Х., 2007.
- Теми документа