|
Автор: Буздуган А.А., Гаврилов С.А., Горомов Д.Г., Редичев Е.Н., Чулков И.С.
-
Анотація:
Исследован процесс диспергирования аморфных тонких пленок кремния толщиной 8-60 нм на поверхности оксида алюминия с использованием методов растровой электронной микроскопии и измерения тока через тонкую пленку непосредственно в процессе нагрева в вакууме
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Поверхневі явища. Поверхневий натяг. Капілярність
| 