Проведен анализ моделей и методик расчета электрических характеристик тонкопленочного контактного узла. Предложены новая физическая модель и эквивалентная электрическая схема для определения тока, потенциала и мощности рассеяния по слоям, а также методика определения величины электрического сопротивления контактного узла и его составляющих