Зведений каталог бібліотек Харкова
Филатов, А. Л. Комплексное отображение электронных и термических параметров кремниевых структур в одном технологическом цикле на базе фотореактивного эффекта [Текст] / А.Л. Филатов, Е.М. Кораблев // Радиотехника и электроника. — 2007. — С. 498-501.
- Анотація:
Исследован фотореактивный метод в качестве основы для бесконтактного комплексного отображения электронных и термических свойств кремниевых структур
- Є складовою частиною документа:
Радиотехника и электроника [Текст] // Радиотехника и электроника ; Институт радиотехники и электроники РАН - М. : Наука. — 2007.
- Теми документа
