Зведений каталог бібліотек Харкова

 
Пошук Відібрані Опис документа
Початкова сторінка Сайт УФД

Рыхлицкий, С. В.
    Спектральный эллипсометрический комплекс "ЭЛЛИПС-1771 СА" [Текст] / С.В. Рыхлицкий, Е.В. Спесивцев, В.А. Швец, В.Ю. Прокопьев // Приборы и техника эксперимента  : научный журнал / РАН. — С. 160-161.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Нанесення металевого та неметалевого покриття. Нанесення провідникового, напівпровідникового, діелектричного, магнітного покриття та плівок, а також плівок і покриття з електричним опром. Металізація



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт