Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Минаев, Р. В.
    Исследования пространственного распределения энергетических характеристик плазменных излучателей для системы обеспечения единства измерений в нанолитографии [Текст] / Р.В. Минаев // Измерительная техника  : научно-технический журнал / Госком РФ по стандартизации и метрологии. — С. 41-45.


- Анотація:

Разработан компаратор, включающий систему формирования изображений и позиционно-чувствительный детектор и обеспечивающий формирование спектральных изображений объектов с калибровкой в единицах энергетической яркости и силы излучения с использованием синхротронного излучения

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Дія світлового випромінювання
  • УДК // Застосування оптики в цілому
  • УДК // Стандарти в цілому. Стандарти відповідно до їхнього характеру та чинності
  • УДК // Фізико-хімічні методи аналізу (крім оптичних методів)



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт