|
Автор: Белогорохов А.И., Додонов А.М., Малинкович М.Д., Пархоменко Ю.Н., Смирнов А.П., Шупегин М.Л.
-
Анотація:
В интервале волновых чисел 5000 - 500 см исследованы ИК-спектры поглощения силоксанов и алмазоподобных кремний - углеродных пленок, синтезированных из силоксанов методом плазменного осаждения.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Нанесення металевого та неметалевого покриття. Нанесення провідникового, напівпровідникового, діелектричного, магнітного покриття та плівок, а також плівок і покриття з електричним опром. Металізація
-
УДК // Теоретична хімія
|
