|
Автор: Борисова Л.А., Колесов Б.А., Данилович В.С., Аюпов Б.М., Максимовский Е.А.
-
Анотація:
В квазиравновесном режиме определены условия контролируемого осаждения фаз в ряду от алмаза до графита в зависимости от содержания углерода в исходной газовой смеси.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Нанесення металевого та неметалевого покриття. Нанесення провідникового, напівпровідникового, діелектричного, магнітного покриття та плівок, а також плівок і покриття з електричним опром. Металізація
-
УДК // Одержання тонких плівок
|
