|
Автор: Гуральник А.С., Галкин Н.Г., Иванов В.А., Иванченко М.В., Чусовитин Е.А.
-
Анотація:
Описана конструкция простого импульсного испарителя , обеспечивающего высокие скорости осаждения тонких пленок на поверхность твердого тела в условиях сверхвысокого вакуума.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Нанесення металевого та неметалевого покриття. Нанесення провідникового, напівпровідникового, діелектричного, магнітного покриття та плівок, а також плівок і покриття з електричним опром. Металізація
-
УДК // Ніздрювата структура. Плівки, Тонкі плівки. Променеві структури
|
