|
Автор: Гугля А.Г., Марченко Ю.А., Перун Н.В., Сасса И.В., Лопатин И.В., Тищенко А.С.
-
Анотація:
Описана технологическая установка ионно-стимулированного осаждения покрытий АРГО-2, предназначенная для получения композитных покрытий, конденсируемых в условиях бомбардировки газовыми ионами с энергией несколько десятков килоэлектронвольт.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Нанесення металевого та неметалевого покриття. Нанесення провідникового, напівпровідникового, діелектричного, магнітного покриття та плівок, а також плівок і покриття з електричним опром. Металізація
|
