Зведений каталог бібліотек Харкова
Мачулін, В. Акустойонні та акустоелектронні технології [Текст] / В. Мачулін, Я. Лепіх, Я. Оліх, Б. Романюк // Вісник НАН України : Загальнонауковий та громадсько-політичний журнал. — К. : ВД "Академперіодика", 2007. — С. 3-8.
- Анотація:
Представлено новий підхід до розв'язання проблеми керування параметрами напівпровідникових матеріалів у рамках кремнієвої технології виготовлення КМОН-приладів, а також проблеми управління характеристиками активних акустоелектронних пристроїв і створення на їх основі датчиків нового покоління
- Є складовою частиною документа:
Вісник НАН України [Текст] : Загальнонауковий та громадсько-політичний журнал // Вісник Національної академії наук України - К. : ВД "Академперіодика". — К. : ВД "Академперіодика", 2007.
- Теми документа
