Рассмотрен подход к проектированию функциональных узлов микромеханических датчиков, основанный на применении комбинированных методов расчета. Приведены примеры использования численного и аналитического расчетов различных подсистем микромеханических акселерометра, гироскопа и зеркала. Показано, что применение комбинированного метода, в том числе метода модели с сокращенными размерностями, значительно сокращает трудоемкость вычислений при сохранении высокой точности результата.
