Сформульовано взаємозв'язані рівняння механодифузії для бінарного твердого розчину, які враховують деформаційну залежність коефіцієнта дифузії домішки. З використанням часового осереднення, теорії розмірностей і методу асимптотичного розвинення за малим параметром побудовано розрахункову схему наближеного розв'язування сформульованої задачі вібродифузії для шару, яка реалізується у першому наближенні за малим параметром, що характеризує деформаційну залежність енергії активації.