| | Корнилов, С. Ю. Оборудование для электронно-лучевых технологических процессов [Текст] / С.Ю. Корнилов, И.В. Осипов, А.Г. Рау, Н.Г. Ремпе // Приборы : научно-технический, производственный и справочный журнал. — М. : СОО "международное НТО приборостроителей и метрологов", 2007. — С. 8-12. |
| | |
|