621.7 | Т38 | Технологическое оснащение вакуумной камеры для термовакуумного нанесения слоев на подложки [Текст] : отчет о НИР (заключ.). : 505-159/89 по теме : Разработка технологического оснащения вакуумной камеры для термовакуумного нанесения слоев на подложки / ХАИ ; рук. Кулик Ю.Г. ; исполн.: Денисов С.В. — Х., 1989. — 61 с. |
| | |
|