621.38
Р17	Разработка методов исследования, контроля полупроводниковых и диэлектрических структур БИС [Текст] : отчет о НИР (заключ.). : 505-126/84 / ХАИ ; рук. Лещенко Н.Е. ; исполн.: Мишева Л.И., Грицай В.Г., Кузнецов А.С. — Х., 1988. — 59 с.