Зведений каталог бібліотек Харкова
Тимошенков, С. П. Реле на основе МЭМС с электростатическим принципом управления [Текст] / С.П. Тимошенков, С.А. Зотов, В.В. Калугин та ін. // . — С. 44-50.
Автор: Тимошенков С.П., Зотов С.А., Калугин В.В., Рубчиц В.Г., Захаров А.А.
- Анотація:
На основании конструкторской и технической проработки составлена технологическая схема изготовления микромеханического реле с использованием группового способа сборки
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Электроника. [Текст] // Известия вузов. Электроника ; Министерство образования РФ, Московский государственный институт электронной техники - М. : МИЭТ. — 2007.
- Теми документа
