|
Автор: Сотникова Г.Ю., Гаврилов Г.А., Суханов В.Л., Черных Д.Ф., Александров С.Е., Капралов А.А., Алексеев А.Н., Шкурко А.П.
-
Анотація:
Универсальный оптоволоконный пирометр для ростового модуля молекулярно-пучковой эпитаксии, разработанный в сотрудничестве с ЗАО "Научное и технологическое оборудование", предназначен для контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых гетероструктур на подложках различных типов.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
| 