| | Шарапов, В. М. Трехкоординатный пьезокерамический сканер на бифорфных пьезоэлементах для зондового наномикроскопа [Текст] / В.М. Шарапов, А.Н. Гуржий, С.А. Филимонов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре : научно-технич. журнал / АО "Нептун". — С. 13-15. |
| | |
|