Глушко, А. А.     Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD [Текст] / А.А. Глушко, И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре  : научно-технич. журнал / АО "Нептун". — С. 32-34.