Зведений каталог бібліотек Харкова
Ильин, В. А. Методика эпитаксиального наращивания кубического карбида кремния на кремнии по технологии CVD [Текст] / Санкт-Петербургский электротехнический университет "ЛЭТИ" // Известия вузов. Материалы электронной техники. — 2007. — С. 22-26.
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Материалы электронной техники. [Текст] // Известия вузов. Материалы электронной техники ; Министерство образования РФ - М. : МИС и С. — 2007.
- Теми документа
