Зведений каталог бібліотек Харкова

 
Пошук Відібрані Опис документа
Початкова сторінка Сайт УФД

Куликов, Д. Ю.
    Оптимизация технологии изготовления тонких пленок SnO2 для датчиков газа [Текст] / Д.Ю. Куликов, С.И. Рембеза, В.А. Буслов та ін. // Датчики и системы : научно-технический и производственный журнал / Инт- проблем управления РАН, МГ ИЭМ, Ассоциация "МВТК". — М., 2007. — С. 41-44.

Автор: Куликов Д.Ю., Рембеза С.И., Буслов В.А., Жиронкин С.Ю., Агапов Б.Л.

- Анотація:

Исследование влияние режимов реактивного магнетронного распыления металлической оловянной мишени в атмосфере Ar+O2 на атомный состав и на величину адсорбционного оклика осаждения пленок с использованием промышленной установки О1НИ-7-006

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // З'єднання матеріалів. Обробка та остаточна обробка поверхні. Складування та зберігання. Пакування та пакувальні машини



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт